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GB/T 29732-2021 表面化學分析 中等分辨俄歇電子能譜儀 元素分析用能量標校準

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檢測執(zhí)行標準信息一覽:

標準編號:GB/T 29732-2021

標準名稱:表面化學分析 中等分辨俄歇電子能譜儀 元素分析用能量標校準

英文名稱:Surface chemical analysis—Medium resolution auger electron spectrometers—Calibration of energy scales for elemental analysis

發(fā)布部門:國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會

發(fā)布日期:2021-12-31

實施日期:2022-07-01

標準狀態(tài):現(xiàn)行/即將實施

替代標準:GB/T 29732-2013

文件格式:PDF

文件頁數(shù):15頁

起草單位:清華大學、中國石油大學(北京)

起草人員:姚文清、楊立平、徐同廣、王雅君、段建霞、李展平

標準簡介:

本文件規(guī)定了俄歇電子能譜儀動能能量標不確定度為3 eV時的校準方法,用于識別表面常規(guī)元素。另外,本文件還規(guī)定了一種用于確定校準周期的方法。

本文件適用于直接模式或微分模式的儀器分辨率小于或等于0.5%,微分模式調(diào)制幅度的峰值為 2 eV,配有惰性氣體離子或其他樣品清潔方法,具有4 keV或更高束能電子的譜儀。


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