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標準簡介：本標準規(guī)定了圓形石英玻璃光掩模基板的技術要求、試驗方法等內容。本標準適用于圓形石英玻璃光掩?；?。
標準號：GB/T 16523-1996
標準名稱：圓形石英玻璃光掩?；逡?guī)范
英文名稱：Specification for round quartz photomask substrates
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
標準狀態(tài)：現行
發(fā)布日期：1996-09-09
實施日期：1997-05-01
中國標準分類號（CCS）：電子元器件與信息技術>>電子設備專用材料、零件、結構件>>L90電子技術專用材料
國際標準分類號（ICS）：電子學>>31.200集成電路、微電子學
起草單位：長沙韶光微電子總公司
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發(fā)布單位：國家技術監(jiān)督局
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