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標準簡介：本標準規(guī)定了硅單晶拋光片的必要的相關(guān)性術(shù)語、產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗方法、檢測規(guī)則以及標志、包裝、運輸、貯存等。本標準適用于直拉硅單晶研磨片經(jīng)腐蝕減薄后進行單面拋光制備的硅拋光片。產(chǎn)品主要用于制作集成電路等半導體器件或做為硅外延沉積的襯底。
標準號：GB/T 12964-2003
標準名稱：硅單晶拋光片
英文名稱：Monocrystalline silicon polished wafers
標準類型：國家標準
標準性質(zhì)：推薦性
標準狀態(tài)：作廢
發(fā)布日期：2003-06-01
實施日期：2004-01-01
中國標準分類號（CCS）：冶金>>半金屬與半導體材料>>H82元素半導體材料
國際標準分類號（ICS）：電氣工程>>29.045半導體材料
替代以下標準：GB/T 12964-1996;被GB/T 12964-2018代替
起草單位：洛陽單晶硅廠
歸口單位：全國半導體材料和設(shè)備標準化技術(shù)委員會
發(fā)布單位：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.
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