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標準簡介：本標準規(guī)定了硅多晶的產品分類、技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及標志、包裝、運輸、貯存。本標準適用于以三氯氫硅或四氯化硅用氫還原法制得的半導體級硅多晶。產品主要用于制備硅單晶。
標準號：GB/T 12963-1996
標準名稱：硅多晶
英文名稱：Polycrystalline silicon
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
標準狀態(tài)：作廢
發(fā)布日期：1996-01-01
實施日期：1997-04-01
中國標準分類號（CCS）：冶金>>半金屬與半導體材料>>H82元素半導體材料
國際標準分類號（ICS）：電氣工程>>29.045半導體材料
替代以下標準：替代GB 12963-1991;被GB/T 12963-2009代替
起草單位：峨嵋半導體材料廠
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發(fā)布單位：國家技術監(jiān)督局
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