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GB/T16945-1997電子工業(yè)用氣體氬

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標準簡介:本標準規(guī)定了電子工業(yè)用氬的技術(shù)要求、試驗方法和包裝、標志。本標準適用于以深冷法從空氣、合成氨尾氣中提取的液態(tài)氬和氣態(tài)氬。

標準號:GB/T 16945-1997

標準名稱:電子工業(yè)用氣體 氬

英文名稱:Gases for electronic industry--Argon

標準類型:國家標準

標準性質(zhì):推薦性

標準狀態(tài):作廢

發(fā)布日期:1997-08-13

實施日期:1998-05-01

中國標準分類號(CCS):化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學氣體

國際標準分類號(ICS):化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體

替代以下標準:被GB/T 16945-2009代替

起草單位:化學工業(yè)部西南化工研究院

歸口單位:全國半導體材料和設(shè)備標準化技術(shù)委員會

發(fā)布單位:國家技術(shù)監(jiān)督局

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