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標準簡介:本標準規(guī)定了氯化氫的技術要求、試驗方法、標志、包裝、貯運及安全。本標準適用于以工業(yè)氯化氫為原料,采用純化制得的氯化氫產品。該產品主要用于微電子工業(yè)中氣相拋光、外延和刻蝕工藝,也可用于硬質合金、玻璃表面處理、醫(yī)藥中間體和精細化學品制造、科學研究等領域。分子式:HCl。相對分子質量:36.458(按2009年國際相對原子質量計算)。
標準號:GB/T 14602-2014
標準名稱:電子工業(yè)用氣體 氯化氫
英文名稱:Gases for electronic industry—Hydrogen chloride
標準類型:國家標準
標準性質:推薦性
標準狀態(tài):現(xiàn)行
發(fā)布日期:2014-12-22
實施日期:2015-07-01
國際標準分類號(ICS):化工技術>>化工產品>>71.100.20工業(yè)氣體
替代以下標準:替代GB/T 14602-1993;GB/T 24469-2009
起草單位:北京華宇同方化工科技開發(fā)有限公司、西南化工研究設計院有限公司、佛山市華特氣體有限公司、光明化工研究設計院有限公司、上海華愛色譜分析技術有限公司、上海儀盟科技有限公司
歸口單位:全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)
發(fā)布單位:國家質量監(jiān)督檢驗檢疫.
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