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GB/T32188-2015氮化鎵單晶襯底片x射線雙晶搖擺曲線半高寬測試方法

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標準簡介:本標準規(guī)定了利用雙晶 X射線衍射儀測試氮化鎵單晶襯底片搖擺曲線半高寬的方法。本標準適用于化學氣相沉積及其他方法生長制備的氮化鎵單晶襯底片。

標準號:GB/T 32188-2015

標準名稱:氮化鎵單晶襯底片x射線雙晶搖擺曲線半高寬測試方法

英文名稱:Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of GaN single crystal substrate

標準類型:國家標準

標準性質:推薦性

標準狀態(tài):現(xiàn)行

發(fā)布日期:2015-12-10

實施日期:2016-11-01

中國標準分類號(CCS):冶金>>金屬理化性能試驗方法>>H21金屬物理性能試驗方法

國際標準分類號(ICS):冶金>>77.040金屬材料試驗

起草單位:中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所、蘇州納維科技有限公司、中國科學院物理研究所、北京天科合達藍光半導體有限公司、丹東新東方晶體儀器有限公司

歸口單位:全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)與全國

發(fā)布單位:國家質量監(jiān)督檢驗檢疫.

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