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檢測執(zhí)行標(biāo)準信息一覽：
標(biāo)準簡介：本標(biāo)準適用于三氯氫硅及四氯化硅氫還原在細硅芯上沉積硅多晶所生長出來的硅多晶棒。
標(biāo)準號：GB/T 4061-1983
標(biāo)準名稱：硅多晶斷面夾層化學(xué)腐蝕檢驗方法
英文名稱：Polycrystalline silicon; Examination method; Assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion
標(biāo)準類型：國家標(biāo)準
標(biāo)準性質(zhì)：推薦性
標(biāo)準狀態(tài)：作廢
發(fā)布日期：1983-01-02
實施日期：1984-01-02
中國標(biāo)準分類號（CCS）：冶金>>金屬理化性能試驗方法>>H25金屬化學(xué)性能試驗方法
國際標(biāo)準分類號（ICS）：冶金>>金屬材料試驗>>77.040.30金屬材料化學(xué)分析
替代以下標(biāo)準：被GB/T 4061-2009代替
起草單位：峨嵋半導(dǎo)體材料廠
歸口單位：全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準化技術(shù)委員會
發(fā)布單位：國家標(biāo)準局
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