石英玻璃晶圓檢測(cè)一般檢測(cè)什么項(xiàng)目?檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)有哪些?檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室可依據(jù)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)制定試驗(yàn)方案。對(duì)井彎曲度、翹曲度、尺寸偏差、表面粗糙度等項(xiàng)目進(jìn)行檢測(cè)分析。并出具嚴(yán)謹(jǐn)公正的石英玻璃晶圓檢測(cè)報(bào)告。

檢測(cè)項(xiàng)目

平整度、彎曲度、翹曲度、尺寸偏差、表面粗糙度、內(nèi)應(yīng)力檢測(cè)、條紋檢測(cè)、顆粒不均勻性、雜質(zhì)元素含量測(cè)試等。

適用范圍

光刻用石英玻璃晶圓等。

相關(guān)檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)

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檢測(cè)流程步驟

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